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Vorlesungen

Experimentalphysik
    Elektrizität und Magnetismus, PTI 216 u. PTI 416
    Thermodynamik, PTI 413
    Physik als Nebenfach, PTI 300 u. PTI 301

Physikalische Verfahrenstechnik
    Dünnschichttechnik, PTI 425
    Vakuumtechnik, PTI 425

Vakuum- und Plasmatechnologien
    Vakuumtechnologien, PTI 552

 
     

Vorlesungen zur Vakuumtechnik im Bachelor

   

Inhalt der Vorlesung
Die Vorlesung umfasst insgesamt 15 Doppelstunden mit den folgenden Schwerpunkten:

  • Einführung: Historie, Druckbereiche, Anwendungsbeispiele
  • Grundlagen: Gasgesetze, Phasenumwandlungen, kinetische Gastheorie, Transportvorgänge, Gas-Festkörper-Wechselwirkung
  • Vakuumerzeugung: Oszillationsverdrängerpumpen, Rotationsverdrängerpumpen, Diffusionspumpen, Turbomolekularpumpen, gasbindende Vakuumpumpen
  • Vakuummessung: Mechanische Manometer, Flüssigkeitsmanometer, Wärmeleitungsmanometer, Glühkathodenmanometer, Kaltkathoden-Ionisationsmanometer
  • Lecksuche: Leckarten, Leckratenmessung, Lecksuche, Dichtheitsprüfung

Literatur

  • Jousten: Wutz Handbuch Vakuumtechnik, Springer-Verlag
  • Edelmann: Vakuumphysik - Grundlagen, Vakuumerzeugung und -messung, Anwendungen, Spektrum Adademischer Verlag

 

Innenansicht einer Turbomolekularpumpe zur Erzeugung von Hochvakuum.


 

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