Inhalt der Vorlesung
Die Vorlesung umfasst insgesamt 15 Doppelstunden mit den folgenden Schwerpunkten:
- Einführung: Historie, Druckbereiche, Anwendungsbeispiele
- Grundlagen: Gasgesetze, Phasenumwandlungen, kinetische Gastheorie, Transportvorgänge, Gas-Festkörper-Wechselwirkung
- Vakuumerzeugung: Oszillationsverdrängerpumpen, Rotationsverdrängerpumpen, Diffusionspumpen, Turbomolekularpumpen, gasbindende Vakuumpumpen
- Vakuummessung: Mechanische Manometer, Flüssigkeitsmanometer, Wärmeleitungsmanometer, Glühkathodenmanometer, Kaltkathoden-Ionisationsmanometer
- Lecksuche: Leckarten, Leckratenmessung, Lecksuche, Dichtheitsprüfung
Literatur
- Jousten, K.: Handbuch Vakuumtechnik, Springer-Verlag
- Edelmann: Vakuumphysik - Grundlagen, Vakuumerzeugung und -messung, Anwendungen, Spektrum Adademischer Verlag
Link zum OPAL-Kurs mit ergänzenden Vorlesungsunterlagen und Praktikumsanleitungen
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Innenansicht einer Turbomolekularpumpe zur Erzeugung von Hochvakuum.
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