DISSERTATION

Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition

-- Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung --

Dissertation zur Erlangung des Doktorgrades der Fakultät für Physik der Universität Bielefeld

vorgelegt von Stefan Braun aus Stralsund

Dresden, Februar 2004

Gutachter: Prof. Dr. Ulrich Heinzmann, Dr. Hermann Mai