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DISSERTATION

Gefüge- und Grenzflächenbeschaffenheit von Mo/Si-Multischichten, synthetisiert mittels Puls-Laser- und Magnetron-Sputter-Deposition

-- Spiegel für extrem ultraviolette Strahlung --


Dissertation zur Erlangung des Doktorgrades der Fakultät für Physik der Universität Bielefeld

vorgelegt von Stefan Braun aus Stralsund

Dresden, Februar 2004

Gutachter: Prof. Dr. Ulrich Heinzmann, Dr. Hermann Mai

Downloads als pdf-Datei:
Inhaltsverzeichnis (154 kB)
Einleitung (593 kB)
Zusammenfassung (179 kB)
vollständiger Text (14,6 MB)

 
 

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